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    排気時間

    所定の圧力まで排気にかかる時間を計算します。

    \(\normalsize T=2.303\times \large \frac { V }{ S } \normalsize \times \log \large { \frac { { P }_{ 1 } }{ { P }_{ 2 } } } \)
    \(T\)  : 排気時間
    \(V\)  : 容積
    \(S\)  : 実効排気速度
    \({ P }_{ 1 }\) : 初期圧力
    \({ P }_{ 2 }\) : 到達圧力
    容積
    排気速度
    初期圧力
    到達圧力
    L
    m3
    L/min
    L/s
     Pa
     Pa
    時間 

    1. 配管の抵抗、チャンバーからの放出ガス、リークがあるため計算結果より遅れる可能性があります。

    2. 高真空域では容器からガスが放出されるため計算結果とより変わってきます。

    3. 実効排気速度はポンプの排気速度から配管などのコンダクタンスを計算して求めます。